GCG-300

高平坦度、高平滑面、低ダメージ層の達成、加工プロセス集約を実現した超精密平面研削盤

主な特徴

• 剛性を追求し、横型で２頭の加工ヘッドを省スペースに配置
• 剛性を追求した横型溝の採用により、シリコンウェーハ表面の高平坦度・低ダメージ研削を達成し、後工程の負荷を低減、トータル生産性の向上を実現
• 高剛性のエア静圧主軸を、砥石軸、ワーク軸に採用

加工事例

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